技術(shù)編號：2816478
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及微機電系統(tǒng)(MEMS)和類似裝置，例如靜態(tài)干涉式裝置。 背景技術(shù)微機電系統(tǒng)包括微機械元件、激活器和電子元件?？墒褂贸练e、蝕刻和/或其它蝕 刻掉襯底和/或已沉積材料層的部分或者添加層以形成電裝置和機電裝置的微加工工藝 來產(chǎn)生微機械元件。一種類型的MEMS裝置稱為干涉式調(diào)制器。如本文所使用，術(shù)語干涉式 調(diào)制器或干涉式光調(diào)制器指的是一種使用光學干涉原理選擇性地吸收且/或反射光的裝 置。在某些實施例中，干涉式調(diào)制器可包含一對導電板，其中之一或兩者可能整體...
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