技術(shù)編號：2816240
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明是關(guān)于光學單元、照明光學裝置、曝光裝置、曝光方法、以及 元件制造方法。更詳言之，本發(fā)明是關(guān)于照明光學裝置，其非常適合于用 以在微影制造工藝制造半導體元件、攝影元件、液晶顯示元件、及薄膜磁 頭等元件的曝光裝置。背景技術(shù)此種典型的曝光裝置中，從光源射出的光束是透過作為光學積分器的 復眼透鏡，形成由多數(shù)個光源構(gòu)成的實質(zhì)上為面光源的二次光源(一般而 言，是照明光瞳的既定光強度分布)。以下，將在照明光瞳的光強度分布稱為r光瞳強度分布」。又，照明光瞳定義為藉由照...
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