技術(shù)編號：2812484
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及堿性加工液、加工液的配制方法及其裝置以及加工液的供給方法及其裝置，具體說，涉及在基體上涂以光致抗蝕劑、功能膜的有機(jī)膜的顯影及加工成型時應(yīng)用的堿性加工液、該加工液的配制方法及其裝置以及在光致抗蝕劑或功能膜的加工中堿性加工液的供給方法及其裝置。光刻技術(shù)在存儲器、邏輯電路等半導(dǎo)體裝置及液晶裝置的制造中將微細(xì)結(jié)構(gòu)向晶片等基體上轉(zhuǎn)寫時被廣泛應(yīng)用，也是制造過程中非常重要的步驟。通常，將光致抗蝕劑的薄膜，如旋涂等涂布在晶片上，用遮光罩進(jìn)行曝光后，顯影，遮光罩上...
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