技術(shù)編號：2811384
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是有關(guān)于 一種實(shí)時信號處理系統(tǒng)，且特別是有關(guān)于 一種光刻機(jī)掩模 預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)。背景技術(shù)在工業(yè)裝置中，由于高精度和高產(chǎn)能的需要，分布著大量高速實(shí)時信號采 樣、數(shù)據(jù)采集、信號實(shí)時處理系統(tǒng)。其中信號實(shí)時處理系統(tǒng)需要采用有效的信號處理模型和方法以達(dá)到高精密、高效率的要求。有該需求的裝置包括集成 電路制造光刻裝置、液晶面板光刻裝置、光掩;t莫刻印裝置、MEMS(微電子機(jī) 械系統(tǒng))/MOMS (微光機(jī)系統(tǒng))光刻裝置、先進(jìn)封裝光刻裝置、印刷電路板光 刻裝置、印刷電^...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。