技術(shù)編號：2810828
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及曝光裝置和器件制造方法，更具體涉及一種用在制造 電子器件如半導(dǎo)體器件、液晶顯示器等的光刻工藝中的曝光裝置以及 利用該曝光裝置的器件制造方法。背景技術(shù)在用于制造電子器件如半導(dǎo)體器件(集成電路)、液晶顯示器等的 光刻工藝中使用投影曝光裝置，該投影曝光裝置把形成在掩?；蚍謩?板(以下統(tǒng)稱"分劃板")上的圖案的圖像經(jīng)投影光學(xué)系統(tǒng)轉(zhuǎn)印到表面 涂覆有抗蝕劑(感光劑)的感光襯底(以下稱作"襯底"或"晶片") 如晶片、玻璃板等上。作為這類投影曝光裝置，傳統(tǒng)上頻繁...
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