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陣列波導(dǎo)器件用的多維對(duì)準(zhǔn)平臺(tái)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2809341

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本發(fā)明涉及一種可適用于集成光子芯片與陣列光纖自動(dòng)對(duì)準(zhǔn) 的平臺(tái),具體地說(shuō)是適用于集成光子器件如光分路器、光纖準(zhǔn)直器、 陣列波導(dǎo)光柵等的六維高精度對(duì)準(zhǔn)和封裝的平臺(tái)。 背景技術(shù)集成光子器件具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、抗干擾能力強(qiáng)、性能一 致性好、穩(wěn)定可靠、便于自動(dòng)化批量生產(chǎn)等突出優(yōu)勢(shì),近年來(lái)廣泛 應(yīng)用于光通信干線網(wǎng)以及接入網(wǎng)的光纖到戶技術(shù)中。集成光子器件 的封裝是利用亞微米精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)將集成光子芯片與陣列光纖進(jìn) 行對(duì)準(zhǔn)耦合并固定,實(shí)現(xiàn)器件的高性能。目前國(guó)際上評(píng)價(jià)封裝質(zhì)...
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