技術(shù)編號(hào)：2808516
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及使用了光學(xué)元件、顯微鏡、光刻光學(xué)系統(tǒng)、及光盤光學(xué) 系統(tǒng)等光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)裝置。背景技術(shù)以往，在這些光學(xué)系統(tǒng)中，為了提高分辨力，提出了通過水浸沒、 油浸沒或者固體浸沒等方法來提高物體側(cè)NA的技術(shù)方案(參照下面的 非專利文獻(xiàn)l)。另一方面，有關(guān)顯示出與普通的玻璃透鏡等不同的折射 特性的物質(zhì)(例如光子晶體等)，有如下這樣的文獻(xiàn)(參照非專利文獻(xiàn)2、 3以及專利文獻(xiàn)l、 2、 3、 4)。非專利文獻(xiàn)1光學(xué)系^仕組^i応用P73 — 77、 P166—170才...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。