技術(shù)編號：2806203
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型是一種非接觸式光刻曝光光學系統(tǒng)，主要用于光刻、復制計量光柵。其主要特征為一種能產(chǎn)生多點(線)光源照明的光學結(jié)構(gòu)，可降低在刻劃時由于細線產(chǎn)生的衍射效應，從而可以刻劃出光柵線條。目前，現(xiàn)有的非接觸式光刻曝光光學系統(tǒng)，為獲得多點(線)光源陣列，采用復眼柱面透鏡組和準直物鏡組的光學結(jié)構(gòu)，其不足之處是1.柱面透鏡尤其是小柱面透鏡的加工困難，工藝復雜，制作成本高；2.光學系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)復雜，設(shè)計計算不方便，是利用二次光源陣列成象；3.刻劃線條的寬度不可調(diào)，系統(tǒng)工...
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