技術(shù)編號：2805666
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明是一種投影光刻成像相移濾波裝置，屬于IC生產(chǎn)設(shè)備分步重復(fù)投影光刻機高分辨力投影成像。近年來，為了提高IC生產(chǎn)設(shè)備分步重復(fù)投影光刻機光刻分辨力，通常采用短波長、大數(shù)值孔徑、以及相移掩模和離軸照明技術(shù)，在挖盡了這些提高光刻分辨力技術(shù)的各種潛力后，國外已開始以犧牲成像光的強度，在照明系統(tǒng)中放置濾波用光欄，再把光欄的像投影在物鏡的光瞳面上，用此近似光瞳濾波方法提高現(xiàn)有的投影光刻成像像對比度，達到提高光刻分辨力。顯然這種近似濾波方法的濾波效果不好，結(jié)構(gòu)也很復(fù)雜...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。