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用于制造漫射體的復(fù)合掩模的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2804533

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本發(fā)明描述一種目前所用的用以制造漫射體膜的光掩模的替代品。根據(jù)WO 94/29768或EP-A-0 671 638,漫射體膜是通過將光敏性透明材料(感光聚合物,光納米體(Photo-Nanomer))層壓到照相底片(掩模)上,并穿過該底片用會聚的UV輻射曝光而制備。該感光聚合物或光納米體含有可從該光敏性透明材料的鄰近的未曝光區(qū)擴(kuò)散到曝光區(qū)內(nèi)的單體或納米級粒子。這樣的材料描述于例如WO 97/38333中。在此,掩模本身由在玻璃層上的攝影明膠構(gòu)成,且預(yù)先經(jīng)過...
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