技術(shù)編號：2803474
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于信息材料與器件，涉及雙面加工法制備微機電可調(diào)氮化物諧振光柵。背景技術(shù)氮化物材料，特別是氮化鎵材料，在近紅外和可見光波段具有優(yōu)良的光學(xué)性能，應(yīng)用前景廣泛。生長在高阻硅襯底上的氮化物材料，為實現(xiàn)微機電可調(diào)的氮化物光子器件提供了可能1，利用高阻硅襯底可以實現(xiàn)器件的絕緣隔離，發(fā)揮器件結(jié)構(gòu)之間的靜電引力；2，利用深硅刻蝕技術(shù)，可以解決高阻硅襯底和氮化物材料的剝離問題，獲得懸空的氮化物薄膜；3，氮化物材料和空氣的高折射率差異，可以設(shè)計實現(xiàn)優(yōu)良性能的諧振光柵，...
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