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半導(dǎo)體器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2799325

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本發(fā)明涉及包含薄膜晶體管(以下也被稱作TFT)的半導(dǎo)體器件。在本說(shuō)明書(shū)中,半導(dǎo)體器件通常指能使用半導(dǎo)體特性而起作用的器件,且電光器件、半導(dǎo)體電路以及電器均為半導(dǎo)體器件。背景技術(shù)近年來(lái),通過(guò)使用形成于具有絕緣表面的襯底上的半導(dǎo)體薄膜(具有大約幾納米至幾百納米的厚度)來(lái)形成薄膜晶體管(也被稱作TFT)的技術(shù)受到關(guān)注。薄膜晶體管廣泛應(yīng)用于電子器件諸如IC或電光器件,特別是推動(dòng)了待用作圖像顯示器件中的開(kāi)關(guān)元件中的薄膜晶體管的迅速發(fā)展。薄膜晶體管主要使用半導(dǎo)體材料諸...
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