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光阻劑清洗液組成物及其應用的制作方法技術資料下載

技術編號:2798974

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本發(fā)明是關于光阻劑的清洗液,其可運用在需要旋轉(zhuǎn)涂布光阻的制程,對于附著于基板外圍部、邊緣部或里面部的未硬化的感光性組成物涂布膜的除去、或?qū)τ诟街谘b置構件或器具表面的未硬化的感放射線性組成物除去的清洗液,如彩色濾光片(CF)、液晶顯示器LCD 或印刷電路板(PCB)的領域上。 特別適用于彩色濾光片未硬化的感光性組成物除去的清洗液用途上。 背景技術 一般在液晶、有機EL、電漿顯示器等平面顯示器或半導體和印刷電路板等制程中,為獲致精細圖像,使用一般微影...
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