技術(shù)編號(hào)：2798377
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及機(jī)電系統(tǒng)。更具體來(lái)說(shuō)，本發(fā)明涉及用于改進(jìn)例如干涉式調(diào)制器等機(jī)電系統(tǒng)的性能的方法及設(shè)備。背景技術(shù)機(jī)電系統(tǒng)包括具有電組件及機(jī)械組件、致動(dòng)器、變換器、傳感器、光學(xué)組件(例如， 鏡)及電子元件的裝置?？芍圃旄鞣N尺度(包括(但不限于)微尺度及納米尺度)的機(jī)電系統(tǒng)。舉例來(lái)說(shuō)，微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)裝置可包括大小在約一微米到數(shù)百微米或更大范圍內(nèi)的結(jié)構(gòu)。納米機(jī)電系統(tǒng)(NEMS)裝置可包括大小小于一微米的結(jié)構(gòu)，包括(例如)大小小于數(shù)百納米的結(jié)構(gòu)?？墒褂靡韵挛C(jī)械加...
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