技術(shù)編號(hào)：2795310
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種光刻工藝，特別涉及一種提高分辨率的光刻工藝。背景技術(shù)20世紀(jì)60年代以來，半導(dǎo)體微芯片的性能有了巨大的提高，判斷芯片性能的一種通用指標(biāo)是芯片運(yùn)行速度。器件做得越小，在芯片上放置得越緊密，電路的電信號(hào)傳輸?shù)木嚯x就更短，芯片運(yùn)行的速度就會(huì)提高。而讓芯片上的器件放置得更緊密的方法就是縮小其物理尺寸特征，即為我們常說的關(guān)鍵尺寸(CD)?！币詠?，關(guān)鍵尺寸的縮小都依賴于光亥lj，分辨率的表達(dá)式可表述為，其中代表光刻光源的波長(zhǎng)，NA代表光刻設(shè)備鏡頭的通光...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。