技術(shù)編號(hào)：2795039
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及曝光裝置及光源裝置，更詳細(xì)地說，涉及應(yīng)用于電子工業(yè)用印刷電路板、半導(dǎo)體或液晶顯示器制造的曝光裝置及使用于這些曝光裝置等的光源裝置。背景技術(shù)例如，在電子工業(yè)用的印刷電路板或半導(dǎo)體晶片、液晶顯示器制造用玻璃基板等的處理工序中，一般使用利用了光刻法(photolithography)的表面刻畫圖案技術(shù)。以往， 例如在印刷電路板的制造工序中，在印刷電路板上通過涂敷或?qū)訅?laminate)等方法形成感光材料(具有感光性的樹脂等)覆膜，隔著形成了所希望的圖...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。