技術(shù)編號(hào)：2790965
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉 及平板顯示，尤其涉及一種光刻方法和設(shè)備。背景技術(shù)隨著平板顯示技術(shù)近些年的飛速發(fā)展，平板顯示從屏幕的尺寸到顯示的質(zhì)量都取得了很大的進(jìn)步。隨著平板顯示產(chǎn)品生產(chǎn)規(guī)模的不斷擴(kuò)大，各個(gè)生產(chǎn)廠商之間的競(jìng)爭(zhēng)也日趨激烈，各廠家在不斷提高產(chǎn)品性能的同時(shí)，也在不斷努力降低產(chǎn)品的生產(chǎn)成本，以提高市場(chǎng)的競(jìng)爭(zhēng)力。光刻エ藝是平板顯示器制造過程中非常關(guān)鍵的一道エ序，該エ序主要是在基板的一表面涂上光刻膠。而為了防止玻璃基板表面上涂的光刻膠滴落在曝光機(jī)等精密設(shè)備上，需要在玻璃基板...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。