技術(shù)編號(hào)：2790720
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種光刻裝置和一種器件制造方法。 背景技術(shù)光刻裝置是可在襯底、通常是襯底的目標(biāo)部分上施加所需圖案的機(jī)器。光刻裝置 例如可用于集成電路(IC)的制造中。在這種情況下，可采用圖案形成裝置來(lái)產(chǎn)生將形成于 IC的單個(gè)層上的電路圖案，該圖案形成裝置也稱為掩?；蚍謩澃?。該圖案可被轉(zhuǎn)移到襯底 (如硅晶片)上的目標(biāo)部分(例如包括一個(gè)或多個(gè)管芯)上。圖案的轉(zhuǎn)移通常借助于成像 到設(shè)于襯底上的一層輻射敏感材料(抗蝕劑)上來(lái)實(shí)現(xiàn)。通常來(lái)說(shuō)，單個(gè)襯底包含被連續(xù) 地形成圖案...
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