技術(shù)編號：2790617
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于照明一照明場的、用于投射光刻的照明光學(xué)系統(tǒng)，在該照明場中可以布置后續(xù)成像光學(xué)系統(tǒng)的物場。此外，本發(fā)明涉及一種分配第二分面(facet)反射鏡的至少兩個第二面從而照明此類型的照明光學(xué)系統(tǒng)的第一分面反射鏡的第一面中的一個的傾斜位置的方法、一種具有此類型的照明光學(xué)系統(tǒng)的照明系統(tǒng)、一種具有此類型的照明系統(tǒng)的投射曝光系統(tǒng)、一種使用此類型的投射曝光系統(tǒng)的微結(jié)構(gòu)或納米結(jié)構(gòu)元件的制造方法、以及由此類型的制造方法制造的微結(jié)構(gòu)或納米結(jié)構(gòu)元件。背景技術(shù)具有可以...
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