技術(shù)編號：2789527
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及衍射光學(xué)元件領(lǐng)域，具體涉及一種交織型光子篩。 背景技術(shù)2001年，德國kipp教授在nature雜志上，首次提出光子篩的概念，光子篩作為一 種新型衍射元件，可以在傳統(tǒng)折射，反射光學(xué)元件無能為力的軟X射線，極紫外光譜區(qū)域聚 焦和成像，從而引起了人們的廣泛關(guān)注。光子篩以波帶片為基礎(chǔ)，以大量小孔代替波帶片上 的亮環(huán)。相比傳統(tǒng)波帶片，光子篩能更有效的抑制旁瓣效應(yīng)和高階衍射，并且能在同樣最小 加工尺寸的條件下，獲得更大的口徑，從而提高系統(tǒng)分辨率率。為進一步...
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