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光波導(dǎo)互連板及其制造方法、制造用母體及光電多功能板的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2786393

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本發(fā)明涉及特別適于在光電多功能板中使用的光波導(dǎo)互連板及其制造方法、制造光波導(dǎo)互連板中所用的母體(precursor)、包括該光波導(dǎo)互連板的光電多功能板,以及光電多功能板的制造方法。背景技術(shù) 在IC或LSI技術(shù)中,近來注意力已被吸引到在器件之間、在設(shè)備內(nèi)部的板之間或者在芯片中使用光學(xué)互連代替高密度布線以提高操作速度或集成度。高速度、大容量的光通信系統(tǒng)中的光學(xué)互連使用電子器件來處理所傳輸?shù)墓庑盘?,因此需要光電多功能器件。例如,日本專利申請?zhí)亻_(JP-A)200...
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