技術(shù)編號(hào)：2786156
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種微振蕩元件，如具有可動(dòng)部件而可進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的微反射鏡元件。背景技術(shù) 最近，使用微機(jī)械技術(shù)加工的微型元件被嘗試應(yīng)用在各種不同的。例如在光通信領(lǐng)域中，具有光反射功能的微反射鏡元件正引起關(guān)注。在光通信中，通過(guò)以光纖為媒介來(lái)傳輸光信號(hào)。此外，一般使用光開關(guān)器件將光信號(hào)的傳輸路徑從一條光纖轉(zhuǎn)換到另一條光纖。為獲得優(yōu)異的光通信特性，要求光開關(guān)器件在開關(guān)操作中具有高容量、高速和高可靠性的特性。在這方面，對(duì)內(nèi)嵌有微反射鏡元件的光開關(guān)器件的期望值越來(lái)越高，其中內(nèi)嵌...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。