技術(shù)編號(hào):2785928
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及。背景技術(shù) 光刻裝置是將所需圖案施加到基底靶部的設(shè)備。光刻裝置可以用于例如集成電路(ICs)、平板顯示器和其他包含精細(xì)結(jié)構(gòu)的器件的制造。在傳統(tǒng)的光刻裝置中,構(gòu)圖部件,或者稱為掩模或分劃板,可用于產(chǎn)生相應(yīng)于IC(或其他器件)單層的電路圖案,該圖案可以成像在具有輻射敏感材料(抗蝕劑)層的基底(例如硅片或玻璃板)的靶部上(例如包括部分、一個(gè)或者若干電路小片(die))。代替掩模,構(gòu)圖部件可以包括用來(lái)產(chǎn)生電路圖案的單獨(dú)可控部件陣列。一般,單基底將包含相繼...
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