技術編號：2785759
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是一種硅微機械諧振傳感器，特別是涉及一種基于反饋光注入半導體激光器的硅微機械自諧振傳感裝置。背景技術 由于采用光激勵、光檢測工作方式的全光型硅微機械諧振傳感器兼有光纖、微結構、諧振傳感器的優(yōu)點，實現(xiàn)了多種先進技術的優(yōu)勢互補，因而成為國內外智能傳感器研究的熱點。全光型硅微機械諧振傳感技術最有前途、最具吸引力的發(fā)展方向為自諧振工作方式，而目前采用該工作方式的全光型硅微機械諧振傳感器存在的諸如Fabry-Perot(F-P)干涉腔的加工精度要求太高、激振結...
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