技術(shù)編號：2785724
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種步進掃描投影光刻機并行控制系統(tǒng)的光強數(shù)據(jù)傳輸總線(IDB)的總線控制器及其該總線系統(tǒng)，更進一步而言，涉及一種基于異步握手觸發(fā)、消息處理、地址指針隊列機制的總線控制器，以及一個由該總線控制器、包含IDB接口的數(shù)據(jù)采集模塊、包含IDB接口的數(shù)據(jù)處理模塊組成的、按照該數(shù)據(jù)傳輸總線協(xié)議并行協(xié)調(diào)工作的總線系統(tǒng)。背景技術(shù) 步進掃描投影光刻機的主要任務(wù)之一是實現(xiàn)高精度光學(xué)標(biāo)記對準(zhǔn)過程。在對準(zhǔn)過程中需要在數(shù)據(jù)采集模塊和數(shù)據(jù)處理模塊之間有大量實時數(shù)據(jù)傳輸，所以...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。