技術(shù)編號(hào)：2785530
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于氧化物光波導(dǎo)的領(lǐng)域，具體涉及一種以折射率隨薄膜組分連續(xù)可調(diào)的氧化物薄膜為光波導(dǎo)芯層的脊形光波導(dǎo)的制備技術(shù)。背景技術(shù)自從上世紀(jì)60年代早期首次觀察到光波導(dǎo)現(xiàn)象以來(lái)，隨著光波導(dǎo)理論的迅速發(fā)展，各種各樣的光波導(dǎo)裝置相繼問(wèn)世，并被應(yīng)用于眾多領(lǐng)域。半導(dǎo)體光波導(dǎo)以其有可能在同一塊基片上制造出集成光學(xué)所需要的各種元件，包括激光器、探測(cè)器、光電開關(guān)和調(diào)制器、波導(dǎo)元件以及電子線路的特殊性引起人們的研究熱情?，F(xiàn)代集成光學(xué)器件所采用的材料主要分為三類，第一類是以III...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。