技術(shù)編號：2785463
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種應(yīng)用于光通訊、光計算，光傳感和光學(xué)測量等領(lǐng)域的光子晶體分束器；特別是涉及一種以為SOI材料的制作容差和可用帶寬范圍大的光子晶體分束器。背景技術(shù)過去半個世紀(jì)中，以硅為主導(dǎo)的微電子技術(shù)取得了舉世矚目的成就，大力推動了信息技術(shù)黃金時代的到來。硅在市場方面的壟斷地位和在工藝方面的巨大優(yōu)勢，吸引著人們不斷研發(fā)小型化、集成化的硅基光子器件，以實現(xiàn)大規(guī)模集成的光子芯片。絕緣體上的硅(Silicon-on-Insulator，SOI)是一種獨特的硅基材料...
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