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一種微光學(xué)元件的復(fù)制方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2784302

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本發(fā)明涉及。微光學(xué)元件是一種新型的光學(xué)器件,在航空航天、光互連、光通訊等領(lǐng)域中應(yīng)用廣泛。隨著科技的發(fā)展,大批、廉價(jià)的微光學(xué)元件需求日益廣泛?,F(xiàn)有復(fù)制技術(shù)主要有以下幾種模壓全息技術(shù)、平面熱壓技術(shù),需要性能優(yōu)良的設(shè)備,成本高,而且復(fù)制的微光學(xué)元件基片內(nèi)有殘余應(yīng)力,質(zhì)量受到影響。國(guó)際光學(xué)工程學(xué)會(huì)刊物《微光學(xué)》1992年第1751卷的文章“在硅基底上制作微光學(xué)元件的溶膠-凝膠技術(shù)”(Jean-Luc R.Noguès,R.Layne Howell,Miniatur...
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