技術(shù)編號：2782371
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明的領(lǐng)域涉及微機電系統(tǒng)(MEMS)。更具體而言，本發(fā)明涉及光的調(diào)制，包括干涉式光調(diào)制。背景技術(shù) MEMS包括微機械元件、激勵器及電子元件。微機械元件可采用沉積、蝕刻或其他可蝕刻掉襯底及/或所沉積材料層的若干部分或可添加若干層以形成電和機電裝置的微機械加工工藝制成?？臻g光調(diào)制器是MEMS系統(tǒng)的一個實例。用于成像應(yīng)用的空間光調(diào)制器具有許多種不同的形式。透射式液晶裝置(LCD)調(diào)制器通過控制晶體材料的扭轉(zhuǎn)及/或配向以阻斷或通過光來對光進行調(diào)制。反射式空間光調(diào)...
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