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浸潤(rùn)式微影方法和儀器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2780606

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本發(fā)明是有關(guān)于一種微影技術(shù),且特別是有關(guān)于一種浸潤(rùn)式微影技術(shù)。背景技術(shù) 微影是一種將光罩上的圖案轉(zhuǎn)移到覆蓋在晶圓表面的光阻上的步驟。浸潤(rùn)式微影是一種先進(jìn)的微影制程技術(shù),其曝光過(guò)程的進(jìn)行是透過(guò)晶圓表面與鏡頭之間所填充的液體。比起一般在空氣中使用的鏡頭,使用浸潤(rùn)式微影技術(shù)可以達(dá)到更高的數(shù)值孔隙(Numerical Aperture),因而有更好的解析度。其次,由于更小的元件特征具有較少的聚焦深度,因此正當(dāng)朝著印制更小元件特征的同時(shí),浸潤(rùn)法能讓聚焦深度的減少趨緩...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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