技術(shù)編號：2779910
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及曝光裝置的校正方法、曝光方法以及曝光裝置，特別涉及，根據(jù)圖像信息，校正利用由空間調(diào)制元件調(diào)制的光束曝光感光材料的曝光裝置中的曝光對位功能的曝光裝置的校正方法、曝光方法以及曝光裝置。背景技術(shù) 以往，提出了多種利用數(shù)字·微型反射鏡·器件(DMD)等空間光調(diào)制元件(SLM)，用根據(jù)圖像數(shù)據(jù)(圖像信息)調(diào)制的光束，進行圖像曝光的曝光裝置。例如，DMD，是在硅等半導(dǎo)體基板之上以二維狀排列根據(jù)控制信號變化反射面的角度的多個微型反射鏡的反射鏡器件，在采用該DM...
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