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用于投影光刻機(jī)的調(diào)焦調(diào)平傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2778929

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本發(fā)明涉及投影光刻機(jī)的調(diào)焦調(diào)平傳感器與調(diào)焦調(diào)平技術(shù),特別是一種具有投影光柵和探測(cè)光柵的調(diào)焦調(diào)平傳感器。背景技術(shù)在集成電路制造設(shè)備中,用于光學(xué)光刻的投影光刻機(jī)是公知的。在投影光刻機(jī)中,曝光光束照明刻有集成電路圖形的掩模,掩模經(jīng)過(guò)投影物鏡成像在基板上,使涂覆在基板上的光刻膠被曝光,從而將掩膜圖樣復(fù)制到基板表面。集成電路集成度的提高要求不斷縮小光刻特征尺寸,光刻特征尺寸的縮小依賴于投影光刻機(jī)光刻分辨率的提高??s短曝光波長(zhǎng)和增大投影物鏡的數(shù)值孔徑是提高光刻分辨率最...
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