技術(shù)編號(hào)：2778717
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種對(duì)金屬薄膜光刻圖形化工藝技術(shù)，主要適用于鉑、鈦金屬薄膜圖形化，也適用于鋁、金等不易被刻蝕的金屬薄膜圖形化。背景技術(shù) 通常在鉑、鈦、鋁、金等金屬薄膜上實(shí)現(xiàn)圖形化，主要采用濕法刻蝕或干法刻蝕兩種，現(xiàn)以濕法刻蝕為例，其主要工藝流程1、清洗硅片，2、生長鉑鈦金屬薄膜，3、涂敷光刻膠，4、光刻，5、顯影，6、配制腐蝕液，7、腐蝕，8、清洗，9、烘干等。用這種方法制作出的鉑鈦金屬薄膜圖形化產(chǎn)品，能夠基本滿足使用，成本低。但是存在著圖形變形，線條不清晰，有...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。