技術(shù)編號：2778145
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種物鏡中光學(xué)元件的保持器件。本發(fā)明還涉及一種物鏡、一種光刻裝置和在物鏡中連接光學(xué)元件與加固元件的方法。背景技術(shù) 光學(xué)元件的保持器件是指物鏡中的終端元件，光刻物鏡中就是這種情形，對應(yīng)的光刻物鏡在現(xiàn)有技術(shù)中是公知的。在這種投射物鏡的情形中為了在具有相聯(lián)底座或與底座連接的部分的光學(xué)元件之間提供非粘性連接，通過表面匹配的方式來設(shè)置將要交換的光學(xué)元件與底座或與底座連接的部分之間的匹配形狀的光學(xué)精確度。理論上終端元件的這種保持器件對于光刻中的常規(guī)應(yīng)用是合適...
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