技術(shù)編號：2777847
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般地涉及光刻，更具體地說，本發(fā)明涉及動態(tài)光刻系統(tǒng)。背景技術(shù) 光刻是將圖樣或圖像轉(zhuǎn)移到襯底上的方法。光刻的一些工業(yè)應(yīng)用包括產(chǎn)品制造，所述產(chǎn)品例如平板顯示器、集成電路(IC)、IC封裝、平面光波回路(光子學(xué))、印刷線路板、柔性電路/顯示器和晶片凸起(waferbumping)。在其最簡單的形式中，光刻系統(tǒng)是通過使光穿過置于襯底上方的掩模或工具而工作的，所述襯底具有例如光刻膠層的光敏表面。通常，掩模由表面上刻有固定不透明圖樣的透明材料形成。由于襯底表面的...
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