技術(shù)編號(hào)：2777246
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明大體而言系關(guān)于光學(xué)檢測(cè)器及制造該種檢測(cè)器的方法。背景技術(shù)為了在半導(dǎo)體基材中建構(gòu)光學(xué)信號(hào)分布網(wǎng)絡(luò)，需要制造良好的光波導(dǎo)來(lái)散發(fā)該等光學(xué)信號(hào)，并且需要制造可將該等光學(xué)信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)殡娮有盘?hào)以與其他電路交流的元件?？捎脙煞N方式來(lái)提取該等光學(xué)信號(hào)，若非從該波導(dǎo)中提取出光學(xué)信號(hào)本身被并傳送至可將其轉(zhuǎn)變?yōu)樗栊问降钠渌娐?，就是在波?dǎo)中將光學(xué)信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)殡娮有问讲⑶覍⒃撾娮有盘?hào)傳送至其他電路。以光學(xué)信號(hào)形態(tài)提取光學(xué)信號(hào)牽涉到波導(dǎo)中的微鏡、光柵或耦合器，或功能與這些裝置類...
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