技術(shù)編號：2777240
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及薄膜的制造方法和濺射裝置，尤其涉及用于通過進(jìn)行濺射而在基板上形成具有所希望的光學(xué)特性的薄膜的薄膜制造方法和濺射裝置。背景技術(shù) 以往，為了設(shè)計(jì)某產(chǎn)品組所要求的光學(xué)分光特性，嘗試了使用自然界中的有限的物質(zhì)來設(shè)計(jì)光學(xué)薄膜。但是，當(dāng)使用這樣有限的物質(zhì)來設(shè)計(jì)光學(xué)薄膜時(shí)，設(shè)計(jì)變得復(fù)雜，并且難以獲得具有任意光學(xué)特性的薄膜。因此，需要得到具有任意折射率和衰減系數(shù)的物質(zhì)，即，自然界中不存在的物質(zhì)。例如，為了構(gòu)成寬帶防反射膜，需要自然界中幾乎不存在的具有中間折射率(...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。