技術(shù)編號(hào)：2775889
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。微機(jī)電系統(tǒng)或MEMS器件包括集成有電子微電路的微加工襯底。這種器件可例如形成根據(jù)例如電磁、電致伸縮、熱電、壓電或壓阻效應(yīng)進(jìn)行操作的微傳感器或微致動(dòng)器。MEMS器件使用例如光刻、氣相沉積和蝕刻的微電子技術(shù)形成在絕緣體和其他襯底上。MEMS器件的一個(gè)實(shí)例包括微反射鏡器件。微反射鏡器件可作為用于入射光幅度和/或相位調(diào)制的光調(diào)制器。微反射鏡器件的一個(gè)應(yīng)用是在顯示系統(tǒng)中。因此，多個(gè)微反射鏡器件布置成陣列，使得每個(gè)微反射鏡器件提供顯示器的一個(gè)單元或像素。傳統(tǒng)微反射鏡器...
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