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印花轉(zhuǎn)印刻蝕的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2775720

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聯(lián)邦政府資助的研究或發(fā)展本申請的主題部分地享受美國國家科學(xué)基金(NSF)授予第CHE0097096號;美國國防高級研究計(jì)劃局(DARPA)授予第FA8650-04-C-7101號;以及美國能源部(DOE)授予第DEFG02-91ER45439號資助。政府對本發(fā)明擁有一定權(quán)利。 背景技術(shù) 軟刻蝕是微制造中通用的一種圖案化技術(shù),用于制造微結(jié)構(gòu)。這種技術(shù)使用圖案化的彈性體將圖案從母模轉(zhuǎn)印到基底上。圖案化的彈性體例如可以用作轉(zhuǎn)印物質(zhì)的印章、用作被物質(zhì)填充的模具或用...
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