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聚(酰亞胺-甲亞胺)共聚物、聚(酰胺酸-甲亞胺)共聚物及正型感光性樹脂組合物的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2775683

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本發(fā)明涉及兼具較低的熱膨脹系數(shù)、較高的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度和良好韌性的有用的聚(酰亞胺-甲亞胺)共聚物及其制造方法、其前體聚合物即聚(酰胺酸-甲亞胺)共聚物、含有前體聚合物和感光劑的正型感光性樹脂組合物、由該組合物得到聚(酰亞胺-甲亞胺)共聚物的微細(xì)圖案的微細(xì)圖案制造方法。背景技術(shù) 作為對(duì)柔性印刷布線電路用基板、帶式自動(dòng)粘合(テ一プオ一トメ一シヨンボンデイング)用基材、半導(dǎo)體元件的保護(hù)膜、集成電路層間絕緣膜等各種電子器件用絕緣材料的重要特性之一,可以舉出焊接處理...
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