技術(shù)編號(hào)：2774986
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種投影系統(tǒng)，包括至少一個(gè)投射裝置，該投射裝置設(shè)置為接收來自第一物體的投射光束并將該投射光束投射到第二物體上。投影系統(tǒng)進(jìn)一步包括至少一個(gè)傳感器，用于測量至少一個(gè)投射裝置的空間定向。本發(fā)明進(jìn)一步涉及一種利用這種投影系統(tǒng)的方法。背景技術(shù) 這里使用的術(shù)語“構(gòu)圖裝置”應(yīng)廣義地解釋為能夠給入射的輻射光束賦予帶圖案的截面的裝置，其中所述圖案與要在基底的目標(biāo)部分上形成的圖案一致；本文中也使用術(shù)語“光閥”。一般地，所述圖案與在目標(biāo)部分中形成的器件如集成電路或者其...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。