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用于納米聚焦的高效金屬異質(zhì)光波導(dǎo)器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2774241

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本發(fā)明屬于信息,特別是涉及一種實(shí)現(xiàn)超衍射極限納米聚焦的光子器件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。背景技術(shù) 光束的聚焦光斑的大小直接決定了光學(xué)系統(tǒng)在高密度數(shù)據(jù)存儲、納米光子學(xué)、近場光學(xué)、生物、化學(xué)傳感、量子光學(xué)等領(lǐng)域的應(yīng)用前景,光斑越小,應(yīng)用潛力越大。但受衍射效應(yīng)的限制,一束光波一般只能聚焦在照明光波長的量級。為縮小照明光斑的大小,目前最具代表性的方法是通過微孔將光斑大小降低到100nm以下[1],但光能利用率很低,一般在10-3到10-5而的量級。最近,利用脊型(ridge)波...
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