技術(shù)編號：2772013
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及在液晶顯示器(LCD)等的制造工藝中使用的基板校準裝置，基板處理裝置及基板搬運裝置，特別是，涉及機械式地進行被處理基板的對位的技術(shù)。背景技術(shù) 歷來，在LCD的制造工藝中，為了在加工處理前或搬運途中將被處理基板(玻璃基板)在工作臺上沿XY方向進行對位，采用一面將基板基本上水平地支承在隔開規(guī)定的間隔設(shè)置在工作臺上的多個支承銷上，一面用適當?shù)膴A具向規(guī)定的方向推壓基板的拐角部或各邊的側(cè)面進行定位的機械方式的校準機構(gòu)(例如，參照特開2001-44118號公...
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