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光波導(dǎo)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2771800

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發(fā)明涉及一種制作光波導(dǎo)的方法。光纖通信系統(tǒng)和以光纖為基礎(chǔ)的儀器和器件往往需要光纖與諸如集積在-塊襯底上的波導(dǎo)等集成光學(xué)器件精確對(duì)準(zhǔn)并可靠連接。在這種光學(xué)連接的設(shè)計(jì)中,一個(gè)重要的、需要考慮的問題是,要在波導(dǎo)和光纖之間獲得良好的對(duì)準(zhǔn)。此類光學(xué)連接的一個(gè)典型結(jié)構(gòu)是,安放在V型槽內(nèi)的光纖與集積在硅襯底上的波導(dǎo)相連。PCT GB96/01068描述了這樣一種結(jié)構(gòu),該結(jié)構(gòu)基于集積在硅-絕緣體晶片上的硅制肋形或脊形波導(dǎo)。為了獲得良好連接,應(yīng)使光纖帶到波導(dǎo)小平面的5μm或...
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