技術(shù)編號(hào)：2771642
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及到集成光電子器件，特別是光連接光波導(dǎo)；以及用于相位調(diào)制和開(kāi)關(guān)的方法。背景技術(shù) 代替集成電子器件或和電子器件一起集成到某個(gè)器件中，光電子器件在集成光路中的使用變得越來(lái)越重要。適合在光電子器件中使用的材料的例子包括鈮酸鋰及硅。作為集成的光電子電路的基礎(chǔ)，硅是有優(yōu)勢(shì)的，因?yàn)樗峁┝藰?biāo)準(zhǔn)硅集成電子電路制造工藝的潛在的用途以及光與電子電路在硅器件上的集成。硅基光電子器件的實(shí)例能在EP-A-0720754及其中給的其它參考中找到。典型的光電子集成電路包括形成...
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