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光學(xué)掃描儀的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2770149

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本發(fā)明針對(duì)既具有固定磁鐵又具有固定驅(qū)動(dòng)線圈的光學(xué)掃描儀。背景技術(shù) 盡管光學(xué)共振掃描儀是公知的,但是它們通常不能以明顯高于10kHz的頻率維持工作,特別是在包括大孔徑反射鏡、大掃描角度和/或由厚材料組成的反射鏡(以保持動(dòng)態(tài)平直度)的情況下。大多數(shù)公知的磁性驅(qū)動(dòng)共振掃描儀包括運(yùn)動(dòng)磁鐵或運(yùn)動(dòng)線圈作為電磁電路部件,所述電磁電路用于產(chǎn)生并維持撓性元件的振蕩運(yùn)動(dòng)。這些掃描儀中許多都具有與撓性元件有關(guān)的高轉(zhuǎn)動(dòng)慣量,因?yàn)殡姶膨?qū)動(dòng)部件是以某種方式實(shí)體連接到該元件的。因此,高...
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