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用于消除mems器件中擾動(dòng)的系統(tǒng)和方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2770120

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本發(fā)明涉及微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)。更具體地說(shuō),本發(fā)明涉及用于消除MEMS器件(如MEMS反射鏡陣列)中擾動(dòng)的系統(tǒng)和方法。背景技術(shù) MEMS器件(如MEMS反射鏡)在各種光學(xué)應(yīng)用中是有效的,包括高速掃描和光學(xué)切換。圖1示出的是現(xiàn)有技術(shù)的光學(xué)系統(tǒng),其使用MEMS反射鏡陣列將來(lái)自輸入光纖的光耦合至輸出光纖。尤其是,圖1描述了波長(zhǎng)分離路由選擇(WSR)設(shè)備100,該設(shè)備100包括光纖準(zhǔn)直器110陣列、波長(zhǎng)-分離器、射束聚焦器和MEMS器件103,所述光纖準(zhǔn)直器11...
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