技術(shù)編號(hào)：2769028
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明關(guān)于透過液體使基板曝光的。背景技術(shù) 半導(dǎo)體元件或液晶顯示元件，是通過將形成于掩膜版上的圖案轉(zhuǎn)印于感光性基板上、即所謂的光刻方法來制造。此光刻步驟所使用的曝光裝置，具有支撐掩膜版的掩膜版載臺(tái)與支撐基板的基板載臺(tái)，使掩膜版載臺(tái)與基板載臺(tái)一邊逐次移動(dòng)一邊透過投影光學(xué)系統(tǒng)將掩膜版的圖案轉(zhuǎn)印于基板。近年來，為對(duì)應(yīng)元件圖案的更高集成化，而期待投影光學(xué)系統(tǒng)具有更高分辨率。投影光學(xué)系統(tǒng)的分辨率，是所使用的曝光波長(zhǎng)越短、或投影光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑越大則會(huì)越提高。因此，曝...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。