技術(shù)編號(hào)：2767918
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光刻裝置和方法。背景技術(shù) 光刻裝置是一種將期望的圖案施加到基板的靶部上的機(jī)器。光刻裝置可以用在例如集成電路(IC)的制作中。在此種情形中，可以用像掩模這樣的構(gòu)圖結(jié)構(gòu)來生成對(duì)應(yīng)于IC其單個(gè)層的電路圖案，然后將這樣的圖案成像在基板(例如，硅片)之上的靶部(例如，包括一個(gè)或多個(gè)電路小片的一部分)上，基板具有輻射敏感材料層(抗蝕劑)。通常，單個(gè)基板都包含有由相鄰靶部組成的網(wǎng)格，這些靶部要陸續(xù)進(jìn)行曝光。已知的光刻裝置包括通常所說的步進(jìn)器和通常所說的掃描器，...
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