技術編號：2767513
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是一種采用光學手段進行超精細結(jié)構(gòu)的測量系統(tǒng)，其分辨能力達到納米至亞微米量級。本發(fā)明主要應用在具有超精細結(jié)構(gòu)(納米至亞微米級)的樣品輪廓和結(jié)構(gòu)的測量。適合于作這種測量的情形有光盤表面結(jié)構(gòu)的測量、亞微米級線寬集成電路的測量、生物組織結(jié)構(gòu)測量、以及其他樣品結(jié)構(gòu)為納米級至亞微米級的樣品的測量。已有技術實現(xiàn)超高分辨率的測量系統(tǒng)主要有短波長成象系統(tǒng)和各種掃描成象系統(tǒng)兩大類。1.短波長成象系統(tǒng)采用物質(zhì)波的短波長成像系統(tǒng)。如電子顯微鏡就是一種眾所周知的超高分辨率成像...
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